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大尺寸ITO平面靶材

表1:

 

項目

規格

主要成分

In2O3:SnO2=90:10(wt%),其(qi)它比(bi)例以(yi)客(ke)戶要求為準

純度

4N(雜質含量見附表)

    規格尺寸                   800 X  272  X  6 mmt 

相對密度

≥99.5%(理論密度7.15g/cm3

電阻率

≤1.8Ω·mm2/m

失氧率

≤0.5%

物理規格

呈(cheng)片狀或其他形(xing)狀,其尺寸及偏差由供需雙方(fang)商(shang)定

外觀質量

外(wai)(wai)觀顏色均勻;表面(mian)平(ping)整,無(wu)裂紋,無(wu)崩邊崩角,且無(wu)任何外(wai)(wai)來(lai)夾雜物和污染物

內部缺陷

內部無裂紋,無異物

 

附表:

 

雜質含量(×10-6)不大于         單位:wt%

Fe

Pb

Zn

Ni

Cu

Cd

Al

Si

Ca

Mg

15

10

10

5

5

5

15

15

15

5