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ITO粉末 ITO靶材

ITO靶材（使用后）

表1：

使用該ITO靶材鍍膜后，ITO導電膜的性能參數
項目	規格
導電性能	約180μΩ·cm（滿足(zu)產品生產要求）
透光率	>87%（滿(man)足產品生(sheng)產要求(qiu)）
耐熱實驗	合格
泡堿實驗	合格
耐堿實驗	合格
蝕刻性能	合格

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