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ITO圓靶

表1:

 

項目

規格

主要成分

In2O3:SnO2=90:10(wt%),其它比(bi)例以(yi)客戶要求為(wei)準

純度

4N(雜質含量見(jian)附表(biao))

相對密度

≥99.3%(理論密度7.15g/cm3

電阻率

≤1.8Ω·mm2/m

失氧率

≤0.5%

物理規格

呈圓片狀(zhuang),其尺寸及偏差由供(gong)需雙方(fang)商定(ding)

外觀質量

外觀顏色均(jun)勻(yun);表面平整(zheng),無(wu)(wu)裂(lie)紋,無(wu)(wu)崩邊(bian)崩角(jiao),且(qie)無(wu)(wu)任何外來夾雜物和污染物

內部缺陷

內部無裂紋,無異物

 

附表:

 

雜質含量(×10-6)不大于         單位:wt%

Fe

Pb

Zn

Ni

Cu

Cd

Al

Si

Ca

Mg

15

10

10

5

5

5

15

15

15

5